苏州中芯启恒科学仪器有限公司
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EZ4-S-PP匀胶机适用于给小碎片至4英寸晶圆大小的基底旋涂光刻胶及其他试剂，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。EZ4-S-PP匀胶机设计结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4-S-PP采用耐腐蚀PP外壳，PP材料内腔，经久耐用。...
产品名称：小巧型匀胶机
产品型号：EZ4-S-PP
1. EZ4-S-PP小巧型匀胶机简介：
EZ4-S-PP匀胶机适用于给小碎片至4英寸晶圆大小的基底旋涂光刻胶及其他试剂，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。EZ4-S-PP匀胶机设计结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4-S-PP采用耐腐蚀PP外壳，PP材料内腔，经久耐用。
2. EZ4-S-PP小巧型匀胶机性能参数：
(1) 转速范围：100-9999rpm
(2) 转速分辨率：1rpm
(3) 加速度可调范围：100-9999rpm/s
(4) 单步步长：3000s
(5) 时间分辨率：1s
(6) 宽电压适用：AC100~230V输入，中英文可选
(7) 单步或多步运行可选，最多可设置5组5步程序
(8) 标配10mm、25mm、55mm三种规格真空载物盘
(9) 外形尺寸：210mm（W）*265mm（D）*213mm（H）
3. EZ4-S-PP小巧型匀胶机特性优点：
(1) 外形小巧，适合手套箱内操作
(2) 耐腐蚀透明盖，恒定扭矩定位铰链
(3) 一体开模内腔，易拆卸清洗，方便更换
(4) 液晶文本显示，彩色面膜按键，简单易用
(5) 加减速度可控可调，可设置多步程序运行控制
(6) 直流无刷电机，推荐旋涂尺寸：4寸圆形底物
(7) 耐腐蚀PP外壳可选（EZ4-S-PP），铝合金外壳可选（EZ4-S）
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