苏州中芯启恒科学仪器有限公司
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EZ4匀胶机适用于给小碎片至4英寸晶圆大小的基底旋涂光刻胶及其他试剂，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。EZ4匀胶机设计结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作...
产品简介：
EZ4匀胶机适用于给小碎片至4英寸晶圆大小的基底旋涂光刻胶及其他试剂，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。EZ4匀胶机设计结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。
产品性能参数：
1. 支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圆晶）
2. 速度可调范围：100-10000rpm
3. 加速度可调范围：100-10000rpm/s
4. 转速分辨率：1rpm
5. 转速精度：＜±5rpm
6. 可编程5组5步程序
7. 宽电压输入：AC100-230V
8. 产品外型尺寸：250mm(D)*210mm(W)*204mm(H)
产品特性优点：
1. 75W 直流无刷电机，单片机控制
2. 高清晰文本显示器
3. 可单步和多步匀胶操作
4. PP耐腐蚀内腔，可更换
5. 铝合金阳极氧化外壳，美观大方
6. 耐溶剂PC透明盖
7. 多角度定位铰链设计
8. HDPE真空吸盘
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