| ? 双绕式涡旋泵,含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。 ? 可在大气压下实现操作运行。 ? 可实现高极限真空。 ? 低振动低噪音。 ? 维护周期可通过计时表控制。
? 分析设备 ? 气体回收系统 ? 涂料设备 | ? TMP 前级泵 ? 氦渗漏探测器 ? 半导体制造工艺 |
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规格参数 |
| 单位 | 50Hz | 60Hz | 实际抽速 | L/min | 500 | 600 | 极限压力 | Pa | 1.0 | 马达 | 单相 |
| 100/115/200/230V, 600W, 4P, 电容启动运行 | 三相 | 200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P | 满载电流 | 单相 | A | 8.5/4.3/3.9 (100/200/230V) | 2.7/1.57/1.57/1.63 (200/380/400/415V) | 三相 | 10.0/8.6/4.8/4.0 (100/115/200/230V) | 2.8/2.5/2.5/1.47 (200/208/230/460V) | 重量 | 单相 | kg | 44.0 | 三相 | 38.0 | 进出气管道直径 |
| 进气管KF-40 出气管 KF-25 | 环境温度 | °C | 5 – 40 | 水蒸气处理 | g/天 | ≤25 (A.F. 开启) | 尺寸 | 单相 | mm | 290(W) × 443(L) × 397(H) | 三相 | 290(W) × 372(L) × 397(H) |
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外形图 |
泵速曲线 |
对应电压与认证 |
电压 | 现行电压 | CE 认证 | CSA 认证 | 单相, 100V, 200V, 230V 115V (60Hz) | 标准 | | | 三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz) 200V, 208V, 230V, 460V (60Hz) | 标准 | | |
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