一般工作距离可调，距离越近，溅射速度越快，但热损伤会增加。离子流的大小通过控制真空压力实现，真空度越低，I越大，溅射速度越快，原子结晶晶粒越粗，电子轰击样品（阳极）产生的热量越高；真空度越高,I 越小，溅射速度越慢，原子结晶晶粒越细小，电子轰击样品产生的热量小。加速电压为固定,也有可调的，加速电压越高，对样品热损伤越大。一般使用金属靶材的正比区域。有些热敏样品，需要对样品区进行冷却，水冷或者帕尔贴冷却；也可以采用磁控装置，像电磁透镜一样把电子偏离样品。经过这样的改造，当然会增加很高的成本。可以在石蜡表面溅射一层金属，而没有任何损伤！真空中的杂质越多，镀膜质量越差。一般黄金比较稳定，可以采用空气作为等离子气源，而其他很多靶材则需要惰性气体为好。气体原子序数越高，动量越大，溅射越快，但晶粒会较粗，连续成膜的膜层较厚。保持真空室的洁净对高质量的镀膜有很大好处。不要让机械真空泵长期保持极限真空，否则容易反油。
本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 |
1、水：不需要 |
2、电：AC220V50Hz,必须有良好接地 |
3、气：设备腔室内需充注氢气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） |
4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上 |
5、通风装置：不需要 |
1、电源：220V |
2、总功率：<2000W(包括镇空泵) |
3、真空室：0160mm×120mm |
4、样品台：O50mm,且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜 |
5、max均匀镀膜：045mm |
尺寸：400mmx300mm×400mm |
重量：30KG |
1、金靶材1个 |
2、进气针阀1个 |
3、保险丝2个 |
金、铟、银、铂等各种靶材 |
价格面议
