一般工作距离可调,距离越近,溅射速度越快,但热损伤会增加。离子流的大小通过控制真空压力实现,真空度越低,I越大,溅射速度越快,原子结晶晶粒越粗,电子轰击样品(阳极)产生的热量越高;真空度越高,I 越小,溅射速度越慢,原子结晶晶粒越细小,电子轰击样品产生的热量小。加速电压为固定,也有可调的,加速电压越高,对样品热损伤越大。一般使用金属靶材的正比区域。有些热敏样品,需要对样品区进行冷却,水冷或者帕尔贴冷却;也可以采用磁控装置,像电磁透镜一样把电子偏离样品。经过这样的改造,当然会增加很高的成本。可以在石蜡表面溅射一层金属,而没有任何损伤!真空中的杂质越多,镀膜质量越差。一般黄金比较稳定,可以采用空气作为等离子气源,而其他很多靶材则需要惰性气体为好。气体原子序数越高,动量越大,溅射越快,但晶粒会较粗,连续成膜的膜层较厚。保持真空室的洁净对高质量的镀膜有很大好处。不要让机械真空泵长期保持极限真空,否则容易反油。
仪器尺寸 :主机 300mm×360mm×380mm(W×D×H)
蒸镀 300mm×360mm×160mm(W×D×H)
真空样品室: 硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm(D×H)
靶(上部电极):50mm×0.1mm(D×H)
溅射靶材:Au
溅射靶材大小:φ50mm
样品台:样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台,样品台可调节高度。也可根据自身要求定制样品台
溅射工作电压:0-1600V (DC)可调
溅射电流:0-50mA
溅射定时:0-360S
蒸碳电流 0-100A(AC)
蒸发材料:碳纤维
蒸发工作电压:0-30V
蒸发时间:0-1S微型真空气阀:可连接φ3mm软管
可通入气体: 多种
输入电压:220V(可做110V),50HZ
真空泵: 2升机械旋转泵(国产VRD-8)
价格面议