详情介绍：
产品详情
目标尺寸是*大为 150 x 150 玻璃的高强度曝光设备。
“平行光曝光机”采用高精度平行光源和精密载物台对玻璃基板进行曝光，通过分体式幻灯片掩模可实现手动8分多面曝光。
目标尺寸是*大为 150 x 150 玻璃的高强度曝光设备。
[特点]
○ 操作单元可选择开关式和触摸屏式
○ 曝光间隙设置在 0 到 300 μm 之间
○ 可更换口罩支架，支持*大 6 英寸的口罩
产品规格
○ 玻璃尺寸：150mm × 150mm (MAX) × 0.5 ～ 1mmt * 因规格而异
○ 外露面照度：超高压水银灯2kW、40mW/cm²以上
○ 光线平行度：准直半角2.0°、偏角0.5 ° 以内
○ 间隙设置分辨率：0 至 300 μm，± 2 μm
○ 公用事业：AC200V 50 / 60Hz，空气 0.5Mpa
○ 灯室排气：5m² / min
○ 外形尺寸：（W）1100 ×（D）1290mm ×（H ) 2175mm *可能会根据规格进行更改。
* 以上项目可根据所需规格进行更改。
