从三个敏感选项中选择，实现精确的高阻抗和低电流测量。5½ 位 6514 型和 6517B 型静电计提供 1fA 灵敏度，输入阻抗 >200TΩ 的电压测量，以及低至 10fC 的电荷测量。6½ 位 6430 型亚 fA 远程 SourceMeter SMU 仪器能够以 1aA 的灵敏度测量电流。其噪声低、偏差小，非常适用于研究单电子器件、高电阻纳米线和纳米管、聚合物以及电化学应用。
特点 | 优势 |
| 超低噪声（6430 为 0.4fAp-p，6517B 和 6514<> | 确保对设备和材料研究中常见的超低电流实现更精确的测量。 |
| 高达 1016Ω 的电阻测量 (6517B) | 精确测量超高电阻材料和绝缘体。 |
| 远程预放大器可以位于信号源 (6430) | 允许直接或短暂连接到信号源，较大限度地减少电缆噪声等噪声源。 |
| 低输入端压降 | 消除影响低电流测量精度的误差。 |
| 内置 ±1kV 电压源，提供扫描功能 (6517B) | 简化了执行泄漏、击穿和电阻测试，以及对高电阻率材料执行体积 (Ω-cm) 和表面电阻率 (Ω/square) 测量的过程。 |
| 适用于测量试样材料的体积和表面电阻的选配 8009 型电阻率测试盒 (6517B) | 防止您接触潜在危险电压 — 打开测试盒盖子时自动关闭仪器的电压源。 |
| 即使在低电平信号上也能实现高测量速度 | 支持更快的低电平元器件测试。 |
| 可编程数字 I/O 和内置接口 | 简化构建自动化元器件测试系统的过程。 |
| 型号 | 电流 | 电阻 | 充电 | 源 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 6514 | 100aA - 20mA | 10mΩ - 200GΩ | 10fC - 20μC | - | |
| 6517B | 10aA - 20mA | 100Ω - 10PΩ | 10fC - 2μC | 0 - ±1000V | |
| 6430 | 10aA - 100mA | 1µΩ - >20TΩ | - | 0 - ±200V | |
