共聚焦三维表面轮廓仪

●可快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。

●具有光学形貌上超高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌测量的理想配置。

●在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制

●应用于透明层/薄膜。

●兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。

●长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。

高稳定性。