2023-07-17 08:35:29805
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Nikon分步投影光刻机NSR-S204B，用于集成电路生产过程中的微光刻工艺，通过投影成像方式，把掩模版上集成电路图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有胶层的硅片表面
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