2023-06-07 14:30:09338
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20年前，Hiden在国际期刊《PhysicsToday》今日物理学杂志发布了HPR-80腐蚀性气体分析质谱仪，初期主要应用于半导体行业的特气检测，如毒性气体AsH3、B2H6、PH3等，强腐蚀性气体如如HCI、HF、CIF3等，强氧化性气体如C
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