2023-04-11 09:41:25788
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KS-FT200/300系列堆叠式高产能前道涂胶显影机，为我司自主研发的突破晶圆前道28nm工艺节点及以上工艺制程，适用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC，SOC，SOD，SOG等多种材料涂覆显影工艺的机台。支持与光刻机联机作业。
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