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对准键合仪ALI/20对准键合仪主要用于对pdms、pmma、硅、玻璃等材料之间的相互对准；采用*的机械移动平台和高分辨率显微放大CCD,双视野观察。样片可在XYZ三维以及水平旋转四个方向进项位置调节，满足对准精度的需求。
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