12025-01-01 06:44:0965
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简要描述：薄膜反射和透射的在线监测系统RTinline薄膜测量系统是为沉积过程的在线质量控制而设计的。该方法基于SENTECH的薄膜厚度探针FTPadv，用于测量反射率和薄膜厚度。它分别工作在420～1050nm、2000～2500nm的光
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