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- 产品型号:LFT1200C 450D254
- 厂商性质:其他
- 品牌:
- 所在地区:合肥市
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大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸（最大尺寸为8英寸）衬底退火处理，设备采用电阻丝为加热元件，保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型，电阻丝为内嵌式一体成型；该设备还集成了真空以及供气系统。
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