泽攸科技台阶仪JS10B
产品介绍
泽攸科技手动台阶仪JS10B是一款高精度测量设备，采用一体式花岗岩结构设计，确保了测量的稳定性和可靠性。其配备彩色摄像头，能清晰地观察样品和针尖，方便定位并实时监控扫描区域。JS10B的最大扫描长度为55mm，重复性测量偏差不超过0.5nm，适用于晶圆尺寸≤150mm的样品。此外，它还具备台阶、粗糙度、平整度和翘曲度等多种测量功能，广泛应用于半导体、微电子等领域。
应用领域
产品组成
突破三大核心技术
产品特色
JS10B台阶仪部分技术指标
名称 | 详细参数 |
| 样品尺寸 | ≤150mm |
| 最大扫描长度 | 55mm |
| 重复性测量偏差 | ≤0.5nm（1μm标准块重复扫描30次） |
| 探针加力范围 | 0.5-50mg |
| 垂直分辨率 | 0.05nm满量程 |
| 扫描分辨率 | 10nm |
| 扫描速度 | 5μm/s-100μm/s |
| 扫描最大采集点数 | 200万点 |
| 软件功能 | 台阶、粗糙度、平整度和翘曲度测量 |
案例应用
18nm样品
68um样品
