深圳市中图仪器股份有限公司
主营产品: 激光干涉仪,测长仪,轮廓仪,压力校验仪 |
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主营产品: 激光干涉仪,测长仪,轮廓仪,压力校验仪 |
参考价 | 面议 |
更新时间:2016-10-10 17:21:05浏览次数:357
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SJ6000激光干涉仪采用美国进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术,实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗*力强、*稳定性好的激光输出;采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量;结合相应镜组还能实现角度、直线度(平行度)、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量,并进行动态分析。
SJ6000激光干涉仪性能特点:
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。
SJ6000激光干涉仪功能:
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、分辨力高等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对线性、角度、平面度、直线度(平行度)、垂直度、回转轴等参数的精密测量,并能对设备进行速度、加速度、频率-振幅、时间-位移等动态性能分析。
在相关软件的配合下,可自动生成误差补偿方案,为设备误差修正提供依据。
SJ6000激光干涉仪技术参数:
系统性能
² 测量方式:单频
² 稳频精度:0.05ppm
² 动态采集频率:50 kHz
² 预热时间:约6分钟
² 工作温度范围:(0~40)℃
² 环境温度范围:(0~40)℃,环境湿度:(0~95)%RH
² 存储温度范围:(-20~70)℃
环境补偿示值误差
² 空气温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
² 材料温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
² 空气湿度传感器:±6%RH (0~95) %RH
² 大气压力传感器:±0.1kPa
线性测量
² 测量距离:(0~40)m
² 测量精度:0.5ppm (0~40)℃
² 测量分辨力:1nm
² 测量zui大速度:4m/s
角度测量
² 轴向量程:(0~15)m
² 测量范围:±10°
² 测量精度:±(0.04%R)″ (R为显示值,单位:″)
² 测量分辨力:0.1″
平面度测量
² 轴向量程:(0~15)m
² 测量范围:±1.5 mm
² 测量精度:±(0.6%R+0.02 M2) μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
² 基板尺寸:180mm可调,360mm可调
测量分辨力:0.1μm
直线度测量
² 轴向量程:(0.1~4.0)m
² 测量范围:±3mm
² 测量精度:±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
² 测量分辨力:0.01μm
垂直度测量
² 轴向量程:(0.1~3.0)m
测量范围:±3mm
² 测量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)
² 测量分辨力:0.01μm/m
回转轴精度测量
² 角度测量范围:(0~360)°
² 测量精度:±1″
zui高转速:10rpm
锂电池供电,蓝牙传输数据。
SJ6000激光干涉仪配置清单:
序号 | 名称 | 明细 | 备注 |
1 | SJ6000主机 | 1台,配云台 | 标配 |
2 | 环境补偿单元 | 1套,配1个空气温度探头和3个材料温度探头 | 标配 |
3 | 笔记本电脑 | 1台,配测量软件 | 标配 |
4 | 便携式拉杆箱 | 1个,尺寸:560mm×460mm×270mm | 标配 |
5 | 通用三脚架 | 1个 | 标配 |
6 | 线性镜组 | 线性干涉镜、线性反射镜,各1个 | 标配 |
7 | 镜组安装配件 | 磁性座2个 | 标配 |
安装柱4节 | |||
辅助安装块2块 | |||
夹紧块2个(带锁紧螺丝) | |||
测头夹具1个(内径:φ32mm) | 选配 | ||
8 | 轻型线性附件 | 小角锥反射镜、缩光镜,各1个 | 选配 |
9 | 远距离线性附件 | 大角锥反射镜、远距离分光镜,各1个 | 选配 |
10 | 可调转向镜 | 可调转向镜1个 | 选配 |
11 | 角度镜组 | 角度干涉镜、角度反射镜,各1个 | 选配 |
12 | 平面度镜组 | 平面度镜组需要与角度镜组组合使用 | 选配 |
平面度反射镜2个 | |||
180mm可调基板、360mm可调基板,各1个 | |||
13 | 直线度镜组 | 直线度干涉镜、直线度反射镜,各1个 | 选配 |
直线度附件1套 | |||
14 | 垂直度镜组 | 垂直度镜组需要与直线度镜组组合使用 | 选配 |
光学直角尺、垂直度安装三脚架,各1个 | |||
15 | 高精密转台 | 锂电池供电,蓝牙传输 | 选配 |
16 | 工作服 | 夏、冬实验室工作服各1件 | 选配 |