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工业纯水设备

工业纯水机产品介绍

· 半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各 种电子器件、微电子工业、大

规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质

的要求也越高；

· 目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、

工业纯水机制造超纯水工艺

1.离子交换树脂制备超纯水流程:

原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

2.反渗透水处理设备与离子交换设备制备超纯水流程:

原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

3.反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制备超纯水流程

原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

注：这是一种制取超纯水的工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺