ZEISS Sigma​ 场发射扫描电子显微镜 返回列表页

蔡司Sigma

拥有高品质成像和显微分析功能的FE-SEM

蔡司Sigma系列产品集场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）技术与良好的用户体验于一体，助您轻松实现构建成像和分析程序，同时提高工作效率。您可以将其用于新材料和颗粒的质量监测，或研究生物和地质样本。Sigma可实现高分辨率成像，它采用低电压，能在1 kV或更低电压下实现更高的分辨率和对比度。它出色的EDS几何学设计可执行高级显微分析，以两倍的速度和更高的精度获取分析数据。

使用Sigma系列，畅游纳米分析世界。

Sigma 360是一款直观的成像和分析FE-SEM，是分析测试平台的合适之选。

Sigma 560采用的EDS几何学设计，可提供高通量分析，实现自动原位实验。

产品优势

Sigma 360是分析测试平台的合适之选，直观的图像采集

从设置到获取基于人工智能的结果，均提供专业向导，为您保驾护航，助您探索直观成像工作流。

可在1 kV和更低电压下分辨差异，实现更高的分辨率和对比度。

可在条件下执行可变压力成像，获得出色的非导体成像结果。

直观成像工作流为您指引方向

从设置到获取基于人工智能的结果，每一步都清晰明了

即使您是新手用户，也能轻松获得专业结果。Sigma系列获取图像迅速，易于学习和使用的工作流可节省培训时间，简化从导航到后期处理的每个步骤，让您如虎添翼。

蔡司SmartSEM Touch中的软件自动化可助您完成导航、参数设置和图像采集等步骤。

接下来，ZEN core便可大显身手：它配备针对具体任务的工具包，适用于后期处理。我们十分推荐人工智能工具包，它可助您基于机器学习进行图像分割。 

将多模式实验与Connect Toolkit相结合，或使用Materials应用程序分析显微结构、晶粒尺寸或涂层厚度

可在1 kV和更低电压条件下分辨差异

增强的分辨率。优化的衬度

光学镜筒是成像和分析性能的关键。Sigma配用蔡司Gemini 1电子光学镜筒，可对任何样品提供出色的成像分辨率，尤其是在低电压条件下。

Sigma 360的低电压分辨率目前500 V时为1.9 nm。通过大幅度降低色差，1 kV时的分辨率已提升10%以上，可达1.3 nm。

现在成像比以往任何时候都轻松，无论是要求苛刻的样品，还是在可变压力（VP）模式下采用背散射探测。

可在条件下执行可变压力成像，获得出色的非导体成像结果。

用于分析和成像的NanoVP lite模式

新NanoVP lite模式和新探测器很容易在电压低于5 kV时，从非导体中轻松获取高质量数据。

这样，就可增强成像和X射线能谱分析的性能，提供更多表面敏感信息，缩短采集时间，增强入射电子束流，提高能谱面分布分析速度。

aBSD1（环形背散射电子探测器）或新一代C2D（级联电流）探测器可确保在低电压条件下采集到出色图像。

对聚苯乙烯样品进行断裂，以了解聚合物界面处的裂纹形成和附着力。Sigma 360，C2D，3 kV，NanoVP lite模式，样品室压力60Pa。

Sigma 560高通量分析，原位实验自动化

对实体样品进行高效分析：基于SEM的高速和通用分析。

实现原位实验自动化：无人值守测试的全集成实验室。

可在低于1 kV的条件下完成要求苛刻的样品成像：采集完整的样品信息。

对实体样品进行高效分析

EDS：通用、高速，助您深入研究

Sigma 560的EDS几何学设计可提高分析效率。两个180°径向相对的EDS端口确保了即使在低电压小束流条件下，也能实现高通量无阴影元素面分布。

样品室的附加EBSD和WDS端口可进行除EDS外的分析。

不导电样品也可以使用全新的NanoVP lite模式进行分析，并能获得更强的信号和更高的对比度。

全新的aBSD4探测器可轻松实现表面形貌复杂样品的图像采集。

氧化铝球体，在500 V表面信息敏感条件下高分辨成像，可以看到烧结颗粒的表面梯度，某些梯度之间的距离仅为3 nm。Sigma 560，500 V，Inlens SE。

实现原位实验自动化

无人值守测试的全集成实验室

Sigma原位实验室是一种全集成式解决方案，它可以不依赖操作人员，通过无人值守的自动化工作流进行加热和拉伸测试。

通过对纳米级别的特征进行3D分析进一步扩展您的工作流：执行3D STEM断层成像或基于人工智能的图像分割。

新aBSD4可实现实时3D表面建模（3DSM）。

钢原位加热和拉伸实验。同步执行SEM成像和EBSD分析，以深入研究应力应变曲线。

对要求苛刻的样品能够轻松成像

可在1 kV和更低电压条件下分辨差异

在1 kV或甚至在500 V时实现信息量丰富的成像和分析：Sigma 560的低千伏分辨率500 V时为1.5 nm。

在新的NanoVP lite模式下，使用新型aBSD或C2D探测器

在可变压力下轻松拍摄要求苛刻的样品，加速电压可低至3 kV。

正在研究电子设备的您肯定希望保持清洁的工作环境。使用等离子清洗仪（强烈推荐）和可通过6英寸晶圆的新型大尺寸样品交换舱，防止您的样品室受到污染。

以低电压成像的碳纳米管（CNT）。Sigma 560，500 V，Inlens SE探测器。