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当前位置:天津万瑞品创科技有限公司>>轮廓测量仪>> Z neox3D轮廓仪
产品型号
品 牌
厂商性质其他
所 在 地
更新时间:2022-01-18 11:16:15浏览次数:353次
Z neox3D轮廓仪
Z lynx3D轮廓仪
详情介绍
公司推出的新型 Z neox3D轮廓仪 在性能、功能、效率和设计方面优于现有的3D光学轮廓仪,是ZERO的新一代测量系统。
测量原理
共聚焦、PSI, ePSI, CSI, Ai 多焦面叠加和薄膜
观察类型
明场、DIC、彩色、共聚焦、干涉相位对比
测量类型
图像,3D, 3D膜厚、线轮廓和坐标
相机
5Mpx: 2448x2048 像素 (60 fps)
台阶精度
0.5%
台阶重复性
0.1%
显示分辨率
0.001 nm
拼接张数
10x12(分辨率): 175x175(低分辨率)(500Mpx)
共聚焦帧速
20 fps (5Mpx); 60 fps (1.2 Mpx)
一般垂直扫面范围
线性平台: 40mm 范围;5nm 分辨率
精细垂直扫描范围
带有压电扫描器; 200μm 范围;0.5nm 分辨率
Z 测量范围
PSI 20µm; CSI 10mm; 共聚焦和 Ai多焦面叠加 34mm
XY 工作台范围
手动:40x40 mm; 电动;114x75 mm, 154x154 mm, 255x215 mm, 302x302 mm
LED光源
红色(630纳米); 绿色(530纳米); 蓝色(460纳米)和白 色(575纳米)
环形照明
绿色环形灯与 6 孔位鼻轮兼容
鼻轮
6 孔位全电动
样品反射率
0.05 % to 99%
样品重量
25Kg
样品高度
40mm(标准);150mm 和 350mm(可选)
用户管理权限
管理员,主管,高级操作员,操作员
高级软件分析
SensoMAP,SensoPRO, SensoMATCH, SensoCOMP(可选)
功率
线电压100-240 V AC; 频率50/60 Hz单相
计算机
的INTEL处理器; 3840x2160像素分辨率 (4K) (27”)
操作系统
64 位 Windows 10 操作系统
重量7
61 千克( 134 磅)
环境
温度 10ºC至 35ºC; 湿度<80%RH; 海拔<2000米
的速度
精准易用
功能灵活多样
引导使用
扩展测量模块
出色的横向和纵向分辨率
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