当前位置：上海尤谱光电科技有限公司>>椭偏仪>> UVISEL Plus椭偏仪
基于25年经验，UVISEL Plus相位调制椭偏仪提供纯正有效的偏振调制，可用于各种样品的精确测量，的FastAcqTM快速采集技术使得测试灵敏度提高至原有的2倍，从而能获得界面薄膜和纳米级低衬度衬底样品的更多信息。可在3分钟以内实现高分辨的样品测试（190-2100nm），校准仅需几分钟。模块化设计，可灵敏拓展，具有更好的可升级性能。UVISEL Plus是一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型。
主要特点
* 50kHz 高频PEM 相调制技术，测量光路中无运动部件
* 具备超薄膜所需的测量精度，超厚膜所需的高光谱分辨率
* 具有毫秒级超快动态采集模式，可用于在线实时监测
* 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件
* 配置灵活
规格参数
| 调制方式 | 相位调制+斩波器 双调制 |
| 调制频率 | 50kHz |
| 光谱范围 | 190-920nm（可扩展到2100nm） * UVISEL NIR (250 nm -2100 nm ) * UVISEL VIS (210 nm -880 nm ) * UVISEL FUV(190 nm -880 nm ) * UVISEL VUV(142 nm -880 nm ) |
| 光谱分辨率 | <> |
| 杂散光抑制率 | <> |
| 色散公式 | ≥ 31个 |
| 材料模型库 | ≥ 300个 |
| 微光斑类型 | 反射式，全光谱消色差 |
| 微光斑可选 | 50μm，100μm，1mm（90度） |
| 探测器 | 分别针对紫外，可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器 |
| 样品台 | 手动/自动，支持12英寸晶圆（可选） |
| 自动量角器 | 变角范围35° - 90°，全自动调整，最小步长0.01° |
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