一、简介
此阀门为电磁驱动方式,它具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点,是真空设备阀门之一。阀门以线圈通电产生电磁力为动力,通过机构与阀板连接,并带动阀板开启及关闭动作。阀门的介质为空气及非腐蚀气体。
二、特点
• 标准模块化设计,易于更换及维修;
• 便于清洁的设计;
• 电磁阀采用节能设计,体积小。
三、主要性能指标
• 适用范围:1×10-5Pa~1.2×105Pa(氟胶圈密封)1×10-6Pa~1.2×105Pa(波纹管密封)
• 打开时阀板上的压差:≤1.2×105a任意方向
• 阀体和阀座漏率: <1.3×10-7Pa·L·s-1
• 保养循环次数:200,000次
• 阀体烘烤温度:≤150℃
• 安装位置:任意(波纹管密封);密封面朝向真空(氟胶圈密封)
• 电源:交流220V或230V 50Hz,起动功率800W、保持功率8W
• 阀门开启或关闭时间:开启≤0.1s;关闭≤1s(氟胶圈密封)、关闭≤0.5s(波纹管密封)
• 阀门位置指示:带有开启位置指示灯