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产品应用:
利用高质量光束在晶圆/玻璃切割道内进行表面刻线,划槽加工。
产品优点:
◆ 有效减小崩边和脱层,提高良率
◆ 开槽宽度,深度可调节
◆ 全自动运行,集成保护液涂覆,晶圆玻璃开槽,清洗模块
工艺流程:
保护液涂覆---激光开槽---二流体水清洗
技术参数:
◆ 加工对象:玻璃 晶圆
◆ 激光种类:紫外激光
◆ 激光功率:≧5W
◆ 冷却方式:封闭式循环水冷
◆ X轴:行程550mm,解析度0.1μm
◆ Y轴:行程500mm,解析度0.1μm
◆ Z轴:行程15mm,解析度0.1μm
◆ θ轴:行程120°,解析度0.001°
◆ 开槽深度:>10μm
◆ 切割轴速度:0-500mm/s
◆ 加工尺寸:12寸以内
◆ 上表面精度:0.01mm/300mm
◆ 清洗盘转速:2500r/min
◆ 位置精度:0.01°
◆ 加工方式:正面开槽,全自动加工
◆ 对焦方式:自动对焦
◆ 打光系统:点光源
样品展示:


为什么选择韵腾激光:
的研发团队
85%的公司员工拥有大专及以上学历,技术研发人员占总人数的一半以上,其中研发骨干人员代表着行业内水平。
丰富的行业经验
公司自2013年成立以来,风雨兼程一路走来,凭借着的专业技术和强大的研发优势,成功的为近300家不同行业企业提供了激光设备及其应用服务,积累了的丰富的行业经验。
一体化的解决方案
公司始终秉承以市场为导向,解决客户实际需求为己任,多年来公司先后独立开发完成 触摸屏行业 TP银浆线+ITO自动定位蚀刻系统方案,FPC+PCB高精密自动送料切割系统等项目,为未来的发展打下了坚实的基础!
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