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Diener 等离子清洗机 Zepto W6

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Diener 等离子清洗机 Zepto W6
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更新时间：2023-08-29 09:39:21浏览次数：131次

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上海尔迪仪器科技有限公司

经营模式：其他

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联系人：张经理

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产品简介

技术应用链接:特点：低压等离子系统

详细介绍

技术应用链接:

特点：

· 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理

· 配置自动/手动模式，实现控制高机能

· 6” Wafer去胶清洗

· 适合于研究院、高校、研发中心使用

· 操作简单易使用

 

 

技术规格：

型号

ZEPTO W6

ZEPTO W6 PCCE

控制系统

手动控制

PCCE 控制系统

工艺气路

双路气体

工艺气体

O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等

单体导入

H2O等单体（选配）

流量计

针阀流量计

MFC流量计

真空

腔体

材质

高硼硅玻璃腔体，盖子门带观察窗(石英，铰链门选配)

内尺寸(Dia.×D)mm

160mm×180mm

容积

4L

电极

360度外置环绕电极

发生器

 

40KHz     0~100 W

13.56MHz  0~50 W

13.56MHz  0~300 W

真空压力计

指针式压力计（选购）

皮拉尼数字式压力计

计时器

旋钮式（选购）

数字式

托盘

高硼硅玻璃（石英选配）

外形尺寸（WXDxH）mm

269x324x176(40kHz)

425x450x185(13.56MHz)

电源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排气速度4m3/H

 

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或

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