中国.鑫有研电子科技有限公司
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RE-2000系列光刻机型号：2000D（大面积紫外光刻机）一.技术特征用途：在平板显示器、大尺寸光栅、码盘等刻划中具有突出的功能与用途
RE-2000系列光刻机
型号：2000D（大面积紫外光刻机）
一.技术特征
用途：在平板显示器、大尺寸光栅、码盘等刻划中具有突出的功能与用途。
技术特点：
1、采用3500W直流高压汞灯；
2、 采用蝇眼透镜实现高均匀照明；
3、 实现超大面积光刻；
4、采用CCD自动对准，自动化程度高；
5、性能可靠、操作方便。
主要技术指标：
1、 曝光面积：430 mm×430 mm；
2、分辨力：3μm；
3、对准精度：≤±1μm ；
4、掩模尺寸：16英寸、17英寸、18英寸、20英寸；
5、照明均匀性：±10%（430 mm×430 mm范围）；
6、掩模相对于样片运动行程：X: ±6mm; Y: ±6mm;θ: ±6度；
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