杭州华盼科技有限公司
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简要描述：无
特点：
1、采用国外品牌部件：循环水路设计，带过滤部件，延长清洗炉体水路；红外灯管寿命高达5000小时，峰值波长约为1.25微米，炉体工艺镜面抛光。
2、高精度控温：进口欧姆龙程序控温表，模糊逻辑PID控温，控温精度可达±0.1℃。
3、快速控温：高能流密度红外灯和镀金反射镜设计，使仪器可快速加热至1150℃；同时，炉体的热容小，配合水冷系统和风冷系统，可实现温度快速冷却，提高使用效率。
4、异常报警保护：炉膛配有炉体外表温度开关，水冷附加有流量开关。超温报警和流量异常时均会切断加热，保护炉膛。
5、洁净控温：非电阻炉加热，无绝热保温材料，更适合在洁净环境中使用。
6、可扩展性：带观察窗，可配CCD，采集光学信号；预留接口，可加载电学测量模块。
应用功能：
强诱导体薄膜的结晶化退火
注入离子后的扩散退火
半导体材料的烧成与退火条件研究
快速热退火
快速热氧化
快速热氮化
电极合金化
晶向化和坚化
技术参数：
| 型号 | IRLA-1200 |
| 温度范围 | RT~1150℃ |
| 温控方式/精度 | PID程序控制，定点控温精度±0.1℃ |
| 较大升温速率 | 45℃/s （真空） 40℃/s （氮气） |
| 测试气氛 | 真空 氮气 惰性气体 |
| 样品尺寸(WxDxH） | 20mmx20mmx2mm（较大） |
| 温度传感器 | 标准K型热电偶 |
| 额定功率 | 4 x（1KW-220V /根） |
| 温度程序模式 | 温度-时间设置，较高256步，32个程序，循环、保温等功能 模糊PID逻辑控温，手动/自动开始，USB485连接 |
| 水冷 | 流量：4L/min，0.3Mpa |
| 真空泵 | 机械泵 |
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