包装印刷网 您好，欢迎来到包装印刷网！

行业产品

  • 行业产品

青岛佳鼎分析仪器有限公司


当前位置：青岛佳鼎分析仪器有限公司>>光刻机>>ASML ARF曝光机，二手翻新步进扫描光刻机PAS 5500-750C

ASML ARF曝光机，二手翻新步进扫描光刻机PAS 5500-750C

返回列表页
ASML ARF曝光机，二手翻新步进扫描光刻机PAS 5500-750C
参  考  价面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地

在线询价 收藏产品 查看联系电话

包装印刷网采购部电话：0571-88918531QQ:2568841715

联系方式：查看联系方式

更新时间：2023-07-16 08:18:27浏览次数：488次

联系我时，请告知来自 包装印刷网

产品分类 品牌分类


    暂无信息

青岛佳鼎分析仪器有限公司

经营模式：其他

商铺产品：9条

所在地区：

询价 给他留言
产品简介

PAS5500/750FDUV步进扫描系统使用成熟的248nmKrF技术，可以实现130nm的大规模生产

详细介绍

PAS5500/750F DUV步进扫描系统使用成熟的248nmKrF技术，可以实现130nm的大规模生产。它结合了改进的0.7NA 4倍还原镜头的成像能力与调平系统中的多点创新，以及空中II照明技术，包括类星体、多极照明和可选的多重曝光能力。该系统配备了TTL对齐和ATHENA，以提高后端工艺层的对齐精度，配备了一个小于25nm的长期单机覆盖。

步进扫描光刻机PAS 5500-750C进一步减少开销时间，并结合提高客户作业的生产率，提供了130片/h晶圆(200毫米)的生产吞吐量。应用2kHz20WKrF激光器可以获得的操作成本。

ASML ARF曝光机，二手翻新步进扫描光刻机PAS 5500-750C

特点与优势：

Variable, 0.7 NA Deep UV Projection Lens
Production resolution down to 130 nm.
Step and Scan
Large field size, better CD control and lower lens aberrations.
AERIAL II Illumination with QUASAR and Optional Multiple Exposure Capability
Provides the ultimate flexibility in illumination modes at maximum throughput.
PAS 5500 Step-and-Scan Body
Commonality with i-line and 193-nm Step-and-Scan tools for economic mix-and-match.
8-Spot Level Sensor
Improved focus and leveling under production conditions.
ATHENA Advanced Alignment
Increased alignment accuracy process latitude.
Includes 2kHz 20W KrF Laser Technology with VariableLaser Frequency Control
The perfect combination of high laser power for high throughput and efficient use of laser pulses for

the lowest possible laser Cost of Operation.

ASML ARF曝光机，二手翻新步进扫描光刻机PAS 5500-750C


其他推荐产品更多>>

或

您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

半自动CCD检查5K平行曝光机

UVE-HSP5KMC 面议

光能循环流曝气机 大流量提水曝气机 黑河治理

GLSUN 面议

光伏提水式喷泉曝气机厂家

RSUN750-PQ 面议

旋转式曝光机

面议

CCD半自动曝光机系统

面议

平行光曝光机

面议

1200*1500mm大型紫外线晒版机网版曝光机

DSS-XFBS12150 面议

KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列

面议

德国 Raith 电子束光刻机

Pioneer Two 面议

太阳能光伏板曝气机价格

LJ-FTA 面议

商铺：https://www.ppzhan.com/st132417/


包装印刷网 设计制作，未经允许翻录必究 .      Copyright(C) 2021 https://www.ppzhan.com,All rights reserved.

以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，包装印刷网对此不承担任何保证责任。 温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。

会员登录

×

请输入账号

请输入密码

=

请输验证码

收藏该商铺

请 登录 后再收藏

提示

您的留言已提交成功！我们将在第一时间回复您~