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沈阳芯源微电子设备股份有限公司


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芯源微“集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机研发及产业化”项目喜获辽宁省科技进步一等奖

阅读:42发布时间:2023-10-21

  日前,2022年度辽宁省科学技术奖名单正式公布,沈阳芯源微电子设备股份有限公司提报的“集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机研发及产业化”项目喜获辽宁省科技进步一等奖。
 
  该项目攻克了晶圆双面颗粒清洗等多项核心技术,成功研制了台应用于集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机,并在多项核心技术方面实现重大创新,相关领域技术空白。
 
  项目已在中芯国际、上海华力、厦门士兰集科等多个客户处通过工艺验证。产品满足集成电路前道芯片制程生产线的工艺要求,性能稳定,技术已经达到水平,并获得国内多家 Fab 厂商的批量重复订单,成功实现国产替代。
 
  作为的半导体设备供应商,芯源微将坚持自主研发,不断深化创新,以时不我待的精神推进科技自立自强,为客户创造价值,成为受社会尊重的企业!
 

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