沈阳芯源微电子设备股份有限公司
2024/2/5
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2023/10/21
2023/10/21
芯源微“集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机研发及产业化”项目喜获辽宁省科技进步一等奖
日前,2022年度辽宁省科学技术奖名单正式公布,沈阳芯源微电子设备股份有限公司提报的“集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机研发及产业化”项目喜获辽宁省科技进步一等奖。该项目攻克了晶圆双面颗粒清洗等多项核心技术,成功研制了台应用于集成电路前道芯【详细】 阅读:432023/10/21
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