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中普尼实业集团(海南)有限公司


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智能去胶机CPN-D3

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地海口市

更新时间:2023-06-29 12:48:49浏览次数:78次

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产品简介

CPND-3型去胶机主要是通过等离子体方法,对陶瓷片、硅片等衬底材料图形上的光刻胶进行干法去除

详细介绍

       CPND-3 型去胶机主要是通过等离子体方法,对陶瓷片、硅片等衬底材料图形上的光刻胶进行干法去除。具有去胶速度快、较好的重复性和一致性、并能保证器件的完好性,操作方便、稳定性高,具有较高的性能性价比,可广泛应用于生产.


设备主要技术指标 设备主要技术指标 

1、真空室结构:(卧式,高纯石英) 

2、真空室规格: Φ210×300mm 

3、极限真空度: ≤1×10-1Pa 

4、去胶速率: ~500A/min 

5、不均匀性: ≤±5% 

6、装片直径: Φ4 英寸 

7、装片容量:4 英寸 25 片/炉 

8、气路系统: 浮子流量计控制气体流量。

9、控制系统:可控制抽真空、工艺气体进入、开室充气等


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