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产品型号
品 牌
厂商性质其他
所 在 地海口市
更新时间:2023-06-29 12:48:49浏览次数:78次
产品分类 品牌分类
全部产品列表
经营模式:其他
商铺产品:55条
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CPND-3型去胶机主要是通过等离子体方法,对陶瓷片、硅片等衬底材料图形上的光刻胶进行干法去除
CPND-3 型去胶机主要是通过等离子体方法,对陶瓷片、硅片等衬底材料图形上的光刻胶进行干法去除。具有去胶速度快、较好的重复性和一致性、并能保证器件的完好性,操作方便、稳定性高,具有较高的性能性价比,可广泛应用于生产.
设备主要技术指标 设备主要技术指标
1、真空室结构:(卧式,高纯石英)
2、真空室规格: Φ210×300mm
3、极限真空度: ≤1×10-1Pa
4、去胶速率: ~500A/min
5、不均匀性: ≤±5%
6、装片直径: Φ4 英寸
7、装片容量:4 英寸 25 片/炉
8、气路系统: 浮子流量计控制气体流量。
9、控制系统:可控制抽真空、工艺气体进入、开室充气等
等离子去胶设备CPN-H79-22型
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