深圳市启诚仪器设备有限公司
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一
一， 产品命名规则：
SS-60系列产品是针对绝大部分工厂和较低级别要求的实验室配置的一款低配置扫描电镜，系列产品包括如下配置：
型号命名规则如下：
二，简单说明：(Description)
（1）zui大放大倍率6万倍（Magnification Max 60,000x）
（2）采用二次电子和背散射电子双重探测器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）
（3）5KV~30KV加速电压选择，图像分辨率高（Accelerating Voltage:5kV to 30Kv，High image resolution）
（4）通过选配EDS可进行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）
（5）冷却台的安装可在无前处理情况下对水分取样分析(Installation a cooling Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)
（6）高/低真空配置缩短前处理过程（High&Low Vacuum System）
（7）CCD摄像头的安装可对载物台内部观察（The CCD camera is mounted to view the inside of the stage）
（8）Tilt（0~45）载物台配置（可选择）（Tilt Stage configuration( optional)）
三、 技术参数：(Product specifications)
分辨率（Resolution）
| 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) | |
放大倍率（Magnification） | 30x~60,000x |
加速电压（Accelerating Voltage） | 5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step) |
图像检测 （Signal Detection）`
| 二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image |
背散射电子图像 (BSEI)-Backscattered Electron Image | |
* Multi Detector (SEI+BSEI) | |
观察模式 Observation mode | Standard Mode |
Charge-up reduction mode | |
电子枪系统（Electron Gun） | |
灯丝类型（Filament type） | 预对中钨灯丝（Pre Centered tungsten filament Cartridge） |
偏压系统（Bias voltage system） | 自动偏压方式（Automatic mode） |
电子枪校正 （Electron gun alignment） | 手动方式（Manual mode） |
透镜构成（Lens system） | |
聚光镜（Focus Lens） | 2段式磁线圈透镜 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) |
物镜（Objective Lens） | 1段式磁线圈透镜(1-stage Electromagnetic Objective Lens) |
探测器类型(Detector type) | SE Detector/ BSE Detector |
载物台系统( Stage System) | Auto or Mauanl |
载物台移动（Stage Traverse） | 3轴操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° |
Image shift | Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
样品尺寸 （Max Sample size） | 高度30mm时直径70mm，70mm in diameter, 30mm in height |
图像扫描 （Image Scanning system） | 快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) | |
图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.) | |
图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.) 3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.) | |
自动功能 （Automatic Function） | 自动启动(Auto start)，自动聚焦(Auto focus)，自动亮度对比度调节(Auto Brightness/Contrast) |
图像存储格式(Image format) | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
数据显示(Data display) | 放大倍率(Magnification)，探测器类型(Detector type)，电压(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)， Date and time，Text marker，比例尺(scale bar) 等 |
真空系统（Vacuum system） | 全自动型/高真空模式+低真空模式(Fully Automatic Multi mode) （旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min （涡轮式分子泵） Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空时间(pump down time)：2分钟以内 (less than 2 minutes) |
操控系统(Control unit system) | 鼠标和键盘(Mouse ,Keyboard) |
CPU : Intel CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version USB 2.0 | |
软件（Software function） | 图像文件打开，编辑，存储功能(Image file open, edit, Save function) 长度，面积，角度等测量功能(Length, area, angle measuring) |
体积（ Volume） | 设备主机（Main Unit）-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set 根据客户实际情况使用Anti vabration Table |
重量 （Weight） | 105kg |
设备环境 （Equipment environment） | 温度(Temperature)：15℃~30℃ 电源(Power source)： Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
四、样品检测结果
我们使用实验室废弃的一颗不良品螺丝作为样品进行了实际测试,图片如下:
螺丝，放大47倍， 30 kV，SE探测器，高真空模式
螺帽部分，放大100倍，10 kV，SE探测器，高真空模式
螺丝，放大47倍， 30 kV，SE探测器，高真空模式
螺帽部分，放大100倍，10 kV，SE探测器，高真空模式
螺牙部分，放大100倍，10 kV，SE探测器，高真空模式
螺纹牙底部分，放大500倍，10 kV，SE探测器，高真空模式
五、附件包（Accessories package）：
预对中钨灯丝 Pre Centered tungsten filament | 5 pcs/box |
载物台（Sample Stage）
| 15mm dia. (10 pcs) |
25mm dia. (10 pcs) | |
15mm 45° Tilt (5 pcs) | |
15mm 90° Tilt (5pcs) | |
真空润滑油(Vacuum pump oil) | 1ea |
高度基准模块(Height standard master) | 1ea |
6角扳手(allen wrench) | 1set |
扫描电镜软件修复用CD (SEM Software CD) | 1ea |
银胶(Silver Paste) 30g | 1ea |
碳导电胶带(Carbon conductive tape) | 1roll |
剪刀(scissors) | 1ea |
洗耳球(aurilave) | 1ea |
镊子(tweezers) | 1ea |
工具箱(Tools Box) | 1ea |
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