上海载德半导体技术有限公司
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产品概要： 霍尔效应测试仪主要用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数、导电类型等重要参数，而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的，因此霍尔效应测试仪是理解和研究半导体材料电学特性的工具。
霍尔效应测试仪主要用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数、导电类型等重要参数，而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的，因此霍尔效应测试仪是理解和研究半导体材料电学特性的工具。
ECOPIA公司的HMS-5000全自动变温霍尔效应测量系统主要由恒电流源、范德堡法则终端转换器、温度控制及测量系统及磁场强度输入系统组成，拥有研究半导体材料霍尔效应所有的部件和配置，是一套非常成熟的仪器系统。同时HMS系列仪器获得多项霍尔效应测量系统、测量方法的，代表了霍尔效应测量的品质及合理的产品价格，并为客户所认可。该产品2004年7月通过CE认证。
产品组成:
1、 主机系统
恒电流源+范德堡(Van der Pauw)方法终端转换系统
2、 0.51特斯拉磁体包(型号：AMP51)
- 0.51特斯拉永磁体
- 磷铜样品固定板
- 样品固定板嵌入式加热器
- 液氮槽
- 温度传感器
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| 样品变温、固定部分组成 - 圆形液氮槽 - 样品固定板 - 温度传感器 - 嵌入式加热器 - 磁体盖 - 电缆 | AMP磁体Kit俯视图 - 磁体移动马达控制 - 圆形液氮槽 - 磁体盖 - 电缆 |
3、 常温测量弹簧夹具样品板及常温测量磁体盖板 RTSK-5000 (选配)
4、 变温霍尔效应测量软件
HMS-5000变温霍尔效应测量仪软件主界面
不同温度I-V/I-R曲线 载流子浓度随温度变化曲线
迁移率随温度变化曲线 电阻率随温度变化曲线
霍尔系数随温度变化曲线 电导率随温度变化曲线
产品规格：
1、 主要实验参数
输入电流：1nA ~ 20mA；
电阻率：10exp(-5) ~ 10exp7Ω.cm；
载流子浓度：10exp7 ~ 10exp21 cm-3；
迁移率：1 ~ 10exp7 cm2/Volt.sec；
磁场强度：0.51T；
样品测量板：弹簧样品板；
样品尺寸：5mmX5mm ~ 20mmX20mm；
温度范围：80K-350K；
磁体包尺寸：700×220×280 mm (W×H×D) / 15.5Kg；
2、 软件操作环境
XP / VISTA / Win7 / Win8 / Win10环境下
3、 实验结果
- 体载流子浓度、表面载流子浓度；
- 迁移率；
- 霍尔系数；
- 电阻率、方块电阻；
- 磁致电阻；
- 电阻的纵横比率；
4、 仪器尺寸和重量
主机尺寸：440×420×140 mm (W×H×D) / 8.5Kg；
5、 测量材料
Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO(including ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO等所有半导体薄膜(P型和N型)；
参考用户：
复旦大学、中国科技大学、华中科技大学、河南理工大学、河南大学、厦门大学、香港城市大学、香港科技大学、香港理工大学、电子科技大学、河北工业大学、吉林大学、中科院上海微系统所、中科院化学所、中科院沈阳金属所、国家硅材料检测中心、广州有色金属研究院、驰宏锌锗、深圳莱尔德等；
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