北京金盛微纳科技有限公司
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详细描述本设备通过对工艺的有效控制，可获得较好的均匀性、粘附性以及较好的重复性，并广泛应用于相关领域的器件研发和制造
详细描述
本设备通过对工艺的有效控制，可获得较好的均匀性、粘附性以及较好的重复性，并广泛应用于相关领域的器件研发和制造。
产品主要性能指标
型号 | PECVD-1D |
真空系统 | 分子泵机组 |
淀积室数量 | 单室 |
淀积室规格 | ø400×150mm |
样片台尺寸 | ø290mm（热均匀区ø220mm） |
加热温度 | ≤ 300℃ |
淀积材料 | SiO2、Si3N4、非晶硅、碳化硅、类金刚石等 |
淀积速率 | 200 ～300 Å/min （与淀积材料和工艺有关） |
淀积不均匀性 | ≤ ±5% |
操作方式 | 手动 |
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