昆山弘圣翔电子有限公司
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内层4CCD半自动LED曝光机光源系统：1
内层4CCD半自动LED曝光机
光源系统：
1.光源：双面LED扫面式光源
2.解析度：3.3mil
3.寿命：交机之日起保固三年
4.均匀度：>85%
Panel规格：
1.尺寸：12"*12"至22"*25"
2.底片尺寸：24"*27"
3.厚度：0.1mm至2.0mm
曝光作业：高强度/双面曝光
对位系统：
1.CCD数量：4个
2.CCD功能：对位准度及底片涨缩检查
3.靶标形式：上底片圆点，下底片圆环
4.对准精度：±15um
机台尺寸：L2200*W1545*H2000+110mm
洁净控制：机台使用 99.97%~99.99%HEPA Filter
LED光源监控：光源保护：LED灯源灭灯及故障检知报警提示
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