苏州中芯启恒科学仪器有限公司
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该款控温型匀胶机（带加热功能的匀胶机）尺寸满足手套箱过渡舱进出，转盘加热控温范围：室温-150℃，转速范围：100-5000rpm，常用于常规晶圆光刻胶旋涂以及钙钛矿薄膜制备研究...
1. 产品简介：
1）全新型载物盘控温加热、匀胶同时工作。
2）HDPE高分子内腔，PC透明盖，钣金外壳。
3）可靠的隔热设计，确保设备电极及元件安全。
4）安全电压发热部件，确保操作安全可靠。
5）可升级添加一路精确计量自动点胶功能。
6）该款控温型匀胶机（带加热功能的匀胶机）尺寸满足手套箱过渡舱进出。
2. 产品参数：
1）转盘加热控温范围：室温-150℃
2）温度分辨率：0.1℃
3）控温精度：<±0.5℃（稳定后控温精度）
4）转盘温度均匀性：<±2%
5）转速范围：100-5000rpm
6）转速分辨率：±1rpm
7）加速度可调范围：100-5000rpm/s
8）单步旋涂时长：3000s
9）时间分辨率：0.1s
10）最多可编程100组100步程序，更多可扩展
11标配可调卡爪载物盘（10-30mm方片或圆片可调），其他规格可定制
外形尺寸：280mm（W）*404mm（D）*270mm（H）
3.推荐应用：
1）常规晶圆光刻胶旋涂
2）钙钛矿薄膜制备研究
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