生产规格 Specification | 1 | 电路板尺寸 Panel Size | 200mm×200mm-630mm×810mm |
2 | 电路板厚度 Thickness Panel | 0.03mm-5.00mm |
工作台面 Workbench | 3 | 台面数量 Workbench | 单台面 Single Workbench |
4 | 对位方式 Alignment Mode | 双CCD对位 Double CCDs Alignment |
光学系统 Optical System | 5 | 光源种类 Light Type | 光纤雷射器 (LD) Laser Diodes 405±5nm |
6 | 冷却方式 Cooling Mode | 水冷 Water Cooling |
7 | 光源规格 Light Power | 80W | 120W |
8 | 光机数 O.S. Number | 4 | 6 |
9 | 光斑均勻性 Illumination Uniformity | >95% |
10 | 感光焦深 DOF | ±250um |
生产能力Throughput | 11 | 产能Throughput | 光功率 Light Power | 80W | 120W |
12 | 过板量(Sides) 24"*21" | 20mj/cm2 | 219/h | 265/h |
13 | 90mj/cm2 | 140/h | 185/h |
14 | 120mj/cm2 | 119/h | 158/h |
15 | 含3秒上下板时间 |
16 | 每面过板時間Timespan/Side 24"*21" | 20mj/cm2 | 13.3s | 10.5s |
17 | 90mj/cm2 | 22.1s | 16.3s |
18 | 120mj/cm2 | 27.1s | 19.6s |
19 | 不包含上下板时间 |
20 | 曝光能量 Resist Energy | ≤1000mj/cm2 |
21 | 量产解析力 Mass Resolution | 50um/50um |
22 | 感光材料类型 Resist Type | 传统干膜、高感干膜 DryTraditional Dry Film. High Sensitive Dry Film |
23 | 无孔对位精度 No-hole Alignment Precision | 24um |
24 | 对位精度 Alignment Precision | ±12um |
控制系統Control System | 25 | 作业系统 Operation System | Win10 |
26 | 控制方式 Control System | 工业级电脑 IPC(Industrial PC) |
27 | 软体操作语言 Culture | 中文/英文 Chinese/English |
生产及环境需求Environment Requirement | 28 | 翻板方式 Flip Mode | 左右翻板 Flip Left to Right |
29 | 涨缩管控 Scale Mode | 固定涨缩、自动涨缩、管控预警 Fixed, Automatic, JE/PE Control |
30 | 档案格式 CAM Format | Gerber 274X/274D/TIFF/DXF/ODB++(Optional) |
31 | 靠齐方式 Alignment Mode | 左下靠齐 Left-Bottom |
32 | 室內照明 Clean Room | 黃光万级 / Clean Room10000 Level |
33 | 环境温度 Temperature | 22±2℃ |
34 | 环境湿度 Humidity | 50±10%RH |
机台外型 Profile | 35 | 机台尺寸 Length*Width*Height | 2500mm×1562mm×1638mm |
36 | 机台重量 Weight | 3500kg |
37 | 外壳材质 Enclosure Material | 不锈钢外壳 Stainless Steel |
输入需求 Input Requirement | 38 | 电力需求 Electric Condition | AC380V±5%/50-60Hz/25A/三相四线 AC380V±5%/50-60Hz/25A/Three-phase four-wire |
39 | 气源需求 Air Condition | 正 压 6kg/cm²/ 管 径 (φ) 6mm Pressure Positive 6kg/cm² / Pipe(φ) 6mm |