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首昂光电(上海)有限公司


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晶圆自动切边机

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地上海市

更新时间:2023-08-30 10:06:36浏览次数:84次

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经营模式:其他

商铺产品:29条

所在地区:上海上海市

联系人:李经理

产品简介

使用高精密的激光加工扫描技术,应用于GPP二极管晶圆中各种图形切割加工

详细介绍

使用高精密的激光加工扫描技术,应用于GPP二极管晶圆中各种图形切割加工。加入自动上料和下料系统实现全程自动化加工。采用*的扫描振镜加工配合X Yθ三轴平台切割图形,使用CC D图像识别系统实现加工件自动识别,定位和自动加工。

设备型号                                    晶圆自动切边机

激光类型                          红外                                 红外

激光波长                       1064nm                           1064nm

激光功率                         30w                                   50W

扫描速度                      300mm/s                          500mm/s

加工晶圆尺寸          4 inch                                 4 inch

融边大小(直线段)     80~100um                        80~100um

对焦方式                    自动(Z 轴运动)              自动(Z 轴运动)

综合切割精度                    ±10um                            ±10um

加工定位方式             自动上下料&自动对位     自动上下料&自动对位

效率(切割)                       < 30s                             < 20s


适用于半导体产业中的GPP晶圆的切割。

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