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TOPCon激光掺杂机

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品       牌

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更新时间:2024-07-15 09:15:13浏览次数:67次

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产品简介

设备特点●DOE整形光路实现线宽60-100um硬件可调●掺杂后表面外观几乎无损伤●掺杂区高浓度、深结、低方阻●25.2以上的光电转换效率●兼容市场上绝大多数主流硅片●双通道加工

详细介绍

设备特点
●  DOE整形光路实现线宽60-100um硬件可调

●  掺杂后表面外观几乎无损伤

●  掺杂区高浓度、深结、低方阻

●  25.2以上的光电转换效率

●  兼容市场上绝大多数主流硅片

●  双通道加工,效率高

●  实现硅片防护,破碎率控制在0.02%以内

●  自带破品检测及隐裂检测功能,杜绝不良品向下游流转



应用领域


样品展示


设备参数

项目

技术参数

设备型号

G7000

激光器

>100W

振镜扫描速度

50m/s

适用硅片尺寸(mm)

182-230

适用硅片厚度(um) 

100-180

图形精度(um)

±15um

对准精度(um)

±15um

花篮容量(pcs)

200

产能(UPH)

>8500

线宽

设置值90um±5μm,80-100um硬件可调



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