深圳市圭华智能科技有限公司
设备特点●DOE整形光路实现线宽60-100um硬件可调●掺杂后表面外观几乎无损伤●掺杂区高浓度、深结、低方阻●25.2以上的光电转换效率●兼容市场上绝大多数主流硅片●双通道加工
● 掺杂后表面外观几乎无损伤
● 掺杂区高浓度、深结、低方阻
● 25.2以上的光电转换效率
● 兼容市场上绝大多数主流硅片
● 双通道加工,效率高
● 实现硅片防护,破碎率控制在0.02%以内
● 自带破品检测及隐裂检测功能,杜绝不良品向下游流转
项目 | 技术参数 |
设备型号 | G7000 |
激光器 | >100W |
振镜扫描速度 | 50m/s |
适用硅片尺寸(mm) | 182-230 |
适用硅片厚度(um) | 100-180 |
图形精度(um) | ±15um |
对准精度(um) | ±15um |
花篮容量(pcs) | 200 |
产能(UPH) | >8500 |
线宽 | 设置值90um±5μm,80-100um硬件可调 |
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