无锡易福高压清洗设备有限公司
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5P125型五柱塞高压往复泵技术参数行程：125mm,柱塞力：5800Kg
一、产品用途、适用范围及特点
本机主要用于碳化硅、硅片、锗片、铌酸锂、玻璃等硬脆材料的单面研磨，也可用于蓝宝石片状材料的单面研磨，以及用于其它硬脆材料平行平面的单面高精度、高效率研磨。
该机采用触摸界面及PLC控制。为用户提供开放式的图形操控界面，充分发挥机械硬件性能；该机主传动具有传动链短、稳定可靠等特点；四个上抛头主动旋转，压力控制采用电气比例阀强制冷却，温度控制精确。
二、设备传动结构及布局
Ø 主轴系统位于设备的下方，由电机通过窄V带拖动蜗轮蜗杆减速箱，减速箱与轴直连，保证了其运转精度,下盘采用交叉磙子轴承定位支撑，运转刚度和精度都得到了良好的保障，下盘轴下部装有旋转接头，用于抛盘内通冷却水；
Ø 上抛光系统头位于设备的上部，上抛光头的升降及加压由气缸实现，上盘设有冷却水通路用于上抛头的冷却，上抛头的旋转由减速电机通过齿轮直接驱动；
Ø 在下抛盘中间设有可升降的一个中间导轮装置，在接液盆边缘部位设有四个外导轮装置，二者配合可实现工件盘的自动定位；
Ø 在设备的上部横梁正面设有主操作面板，可进行参数设定，运行监控等功能，在横梁的侧面各有两个小操纵板用于四个上抛头的升降操作；
Ø 在设备后部箱体上装有液路系统，设有上下盘冷却水、抛光液、清洗水的通路；
Ø 在设备的前部箱体与横梁两侧装有前立柱，用于横梁的辅助支撑，立柱高度方向可微调；
Ø 在箱体的右侧设有两个加油口，用于主轴两组轴承的润滑；
Ø 在横梁上装有红外测温装置，用于抛盘盘面温度的监测；
Ø 在下抛盘的外侧设有可滑动的防护罩，可防止工作液的飞溅，减少有害气体的溢出；
Ø 工作液采用钻石液喷雾方式
Ø 具有车刀装置，可对铜盘盘面进行面型修正及刻槽加工。
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