武汉泰和丰顺光电有限公司
MPG40x 大气压至超高真空真空计 INFICON 倒置磁控管皮拉尼MPG400 和 MPG401型真空计测量,范围范围从 5 x 10-9毫巴至大气压(3.8 x 10-9托至大气压)。 将多项技术融合到到一个带有对数模拟输出信号的单个紧凑数装置中,极大降低了安装、设置和集成的复杂性。
类型 | MPG400 FPM sealed | MPG401 metal-sealed | |
---|---|---|---|
测量范围(空气,N2) | 5 x 10-9 … 1000 | 5 x 10-9 … 1000 | |
精度 (N2) | |||
1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±30% | ≈±30% |
可重复性 | |||
1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±5% | ≈±5% |
安装定位 | | any | any |
容许压力 | bar (absolute) | ≤10 (limited to inert gases) | ≤10 (limited to inert gases) |
容许温度 | |||
运行(环境) | °C | +5 … +55 | +5 … +55 |
贮存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 |
烘烤 (1) | °C | 150 | 150 |
单丝温度(皮拉尼) | °C | 120 | 120 |
电源电压 | |||
真空计上 | V (dc) | +15 … +30 | +15 … +30 |
缆线最长的电源装置 (2) | V (dc) | +16 … +30 | +16 … +30 |
波纹 | V (p-p) | ≤1 | ≤1 |
功耗 | W | ≤2 | ≤2 |
可连接的保险丝 | AT | ≤1 | ≤1 |
输出信号(测量信号) | |||
电压范围 | V | 0 … +10.5 | 0 … +10.5 |
测量范围 | V | +1.82 … +8.6 | +1.82 … +8.6 |
电压与压强 | | logarithmic, 0.6 volts per decade | logarithmic, 0.6 volts per decade |
错误信号 | |||
无电源 | V | <0.5 | <0.5 |
皮拉尼传感器,单丝断裂 | V | >9.5 | >9.5 |
输出电阻 | Ω | 2 x 10 | 2 x 10 |
最小负载电阻 | kΩ | 10, short-circuit proof | 10, short-circuit proof |
反应时间 | |||
p > 10-6 毫巴 | ms | <10 | <10 |
p = 10-8 毫巴 | ms | ≈1000 | ≈1000 |
识别真空计 | | 85, referenced to supply common | 85, referenced to supply common |
状态 | |||
仅皮拉尼模式 | V |
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