武汉泰和丰顺光电有限公司
HPG400 大气压至高真空真空计 INFICON 高压热电离皮拉尼HPG400型真空计 将高压热电离技术与皮拉尼传感器整合在一个单个紧凑经济的装置中,可测量 2×10-6毫巴至大气压(1.5×10-6托至大气压)范围内的压力。 HPG400 型真空计为精确的溅射过程压力控制提供重复测量并再现测量数据。
类型 | HPG400 | |
---|---|---|
测量范围(空气,N2) | 2×10-6 … 1000 | |
精度 | ||
10-5 … 1 毫巴 | % of reading | ±15 (1) |
可重复性 | ||
10-5 … 10-1 毫巴 | % of reading | 2 |
10-1 … 100 毫巴 | % of reading | 30 |
热离子发射,可选: | ||
选购件 1 | mbar | 1 |
选购件 2 | mbar | 5×10-1 |
选购件 3 | mbar | 2×10-1 |
选购件 4 | mbar | 1×10-1 |
选购件 5 | mbar | 5×10-2 |
压力, | bar (absolute) | 2 |
温度 | ||
运行(环境) | °C | 0 … +50 |
贮存 | °C | -20 … +70 |
在法兰处烘烤 | °C | 80 |
移除烘烤电子设备 | °C | 150 |
电源电压 | 20 … 28 | |
输出信号模拟 | ||
输出信号 | V | 0 … +10.2 |
测量范围热阴极 | V | 1.5 … 7.5 |
测量范围皮拉尼 | V | 8.5 … 9.75 |
电压比压强热阴极 | volts per decade | 1 |
电压与压强皮拉尼 | volts per decade | 0.25 |
错误信号热阴极 | V | 0.3 |
错误信号皮拉尼 | V | 0.5 |
最小负载电阻 | kΩ | 10 |
接口(数字)(2) | RS232C | |
电气连接 | D-Sub, 15-pin, male | |
电缆长度, (3) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 20 (1.2) / 30 (1.8) |
重量 KF / CF | g | 430 / 695 |
保护等级 | IP30 | |
DeviceNet™ | ||
协议 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
网络规模 | up to 64 nodes per segment | |
数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
可视通信指示器 |
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