郑州科探仪器设备有限公司
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简要描述：2路质量流量计500w等离子清洗机，在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的
2路质量流量计500w等离子清洗机
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性
2路质量流量计500w等离子清洗机KT-Z5KQX
供电电源 | AC220V（AC110V可选) |
工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
射频电源功率 | 500W可调 |
射频频率 | 40kHz |
耦合方式 | 电容耦合 |
真空度 | ≤30Pa |
腔体容积 | 5L(内径 152mmX 深度 280mm) |
载物规格 | 125mmX260mm |
气体流量 | 0—50ml/min（其他量程可选） |
气体路数 | 2 路质量流量计+精密流量控制阀 |
过程控制 | 自动控制 |
清洗时间 | 手动开关 |
开盖方式 | 铰链侧开式法兰 |
真空室温度 | 小于65°C |
外形尺寸 | 450x450x250mm |
冷却方式 | 强制风冷 |
标配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本，机械泵一台 |
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