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DVH系列隔膜阀

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更新时间:2024-04-19 08:42:28浏览次数:29次

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产品简介

工作压力:真空至300psig| 材质:316L/316L(VIM+VAR) | 工作温度:-10℃~70℃

详细介绍

产品介绍 

 

DVH 系列隔膜阀,膜片式硬密封结构,超低漏率;适用于超高纯度气体,半导体用(毒、腐)气体,满足超大规模集成电路的工艺气体要求。

 

主要部件材料

 

阀体                       316L /316L(VIM+VAR)
膜片                       Ni-Co alloy /UNS R30003
密封垫                   PCTFE 

阀体                      6063

 

工作条件

 

工作压力                真空至 300psig
爆破压力                3000psig
流量系数                0.5 
工作温度                -10 ~ 70℃
内漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
内表面粗糙度         Ra≤0.1μm

 

产品特点

 

适合超高纯度气体应用
手柄带开关状态指示窗口
手柄可旋转角度为 180° ( 可选 90° )
手柄通过提拉后方可旋转开启,操作安全
每台阀门进行单独的氦质谱检测
超长使用寿命(50 万次实验值)
可选配防误操作 -LOTO

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