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NEJ-PTG6H型喷印装备

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武汉国创科光电装备有限公司

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产品简介

NEJ-PTG6H型喷印装备适用于量产线上G6H尺寸基板的TFE打印工艺，全自动控制，模块化配置，对接产线上下游设备，可满足量产线的高效生产需求。

详细介绍

技术参数

●基板尺寸：1500*925mm
●基板厚度：0.4-1.5mm
●运动精度：≤±3μm
●打印精度：≤±10μm
●墨滴体积：3.5/6 pL（可选配）
●打印膜厚：4-20μm
●成膜均匀性：≥95%
●水氧含量控制：≤1ppm
●箱内洁净度控制：ISO3
●辅助设备：UV/TM/LL可选配

装备技术优势

高效精密阵列化喷头
高精度气浮基板输送系统
高精度气浮运动系统
飞行墨滴精确测量
图案规划与智能调控
AOI缺陷检测
模块化成套配置
智能工艺系统

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