非接触三围表面粗糙度・形状测量机
Opt-scope（白光干涉显微镜）
Opt-scope（白光干涉显微镜）
非接触。高分辨率。范围广。
Opt-scope R:300mm移动范围的自动测量台，可进行晶片晶圆的测量。
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非接触三维表面粗糙度和形状测量仪 Opt-scope CLW（白色干涉显微镜）使用白色干涉原理，可以分析以往显微镜难以测定的深孔底和齿轮齿面、圆柱内表面粗糙度和形状的便携式非接触3D表面粗糙度和形状测量机。Z方向测量范围、工作距离扩大40mm，对应各种测量工件。
