- 切割机:AD3000T-PLUS使用本公司核心技术,非常小的占地面积的12英寸机型。高生产效率,高加工品质,低使用成本。
- 切割机:AD3000T-HC PLUS12英寸全自动切割机。在晶圆搬送和框架搬送间自动切换,减少了切换过程中的风险,机器停机时间也大大减少。
- 切割机:AD2000T/S运用本社的核心技术,实现了非常小的占地面积。
- 切割机:AD20T/S占地面积小、加工速度快的半自动双轴切割机。
- 切割机:SS10占地面积小、加工速度快的6英寸切割机。
搭载17英寸触摸屏,使操作性更强。
搭载了图像处理系统,可对应多样化工件。 - 切割机:SS20高刚性结构,节省占地面积的8英寸切割机。
标准对应大尺寸工件的切割。 - 切割机:SS30高刚性结构,节省占地面积的12英寸切割机。
对应多样化工件的切割。 - 基板切割机 :PS300独立的2个工作台的设计,使切割和对齐同时处理成为可能,实现了2倍的高速切割。与handle设备的连接,缩短了衔接时间,系统化工作大大提高了工作效率、使处理时间高速化。
- 激光切割机 :ML301EXWH搭载可视光显微镜的12英寸激光切割机
晶圆搬送结构
对应客户各种需求。
ML300系列已经停止生产和销售 - 自动清洗机 :A-CS-300适用于半自动切割机上切割、开槽后的工件的清洗和干燥。
二流体清洗、摆动式清洗喷嘴范围可以和晶圆尺寸配合实现优异的清洗效果。
可对应12英寸框架。