真空等离子清洗机的组成部分

包括真空泵、真空计等部件。真空泵用于将反应腔室抽成真空，常见的真空泵有机械真空泵、扩散真空泵等。真空计则用于测量腔室内的真空度，以便精确控制真空环境，确保等离子体的产生和清洗效果。

主要由射频发生器或微波发生器等能源供应装置组成。射频发生器通过射频电场激发气体分子，使其电离产生等离子体。不同的功率和频率设置可以产生不同特性的等离子体，以适应不同的清洗任务。

包括气体源、气体流量控制器等。气体源提供清洗所需的各种气体，如氩气用于物理清洗，氧气用于氧化有机污染物等。气体流量控制器可以精确控制进入反应腔室的气体流量，从而调节等离子体的成分和密度。

是放置被清洗物体的空间，其材质和结构设计需要考虑到真空密封性、耐腐蚀性和对等离子体的适应性。通常采用不锈钢等材料制成，内部设计有合适的电极和样品架，以保证等离子体均匀分布在被清洗物体表面。