X 轴测量系统:Heidenhain 增量,精密长度测量系统,100 mm 长的测量元素
基床中载物台左和右侧的整个基床长度上的 Heidenhain 增量入射光测量系统
Z 轴测量系统:RENISHAW 增量,精密长度测量系统,长度 80 mm
· 综合测量系统,提供 100 mm 范围内超精确测量,以及测量元素和逆轴承整个移动范围内的标准精度测量。测量元素和基床测量系统构成的 X 测量
· 特别推荐用于测量较大的测量对象,也适合测量较小的测量对象
· 手动操作测量轴
· 配有平滑手动定位测量元素的空气轴承以及逆轴承
· 对象高度可通过按钮调整(以及定位预定义的增量)
· 使用 3 个传感器在线测量温度
· 计算机辅助仪零点稳定和校正系统误差 (CAA)
· 在整个测量轴设置范围内稳定的测量能力
· 计算机辅助校正温度和测量力影响
· 大载物台带 Z 方向精密引导,负载 25 kg
· Mahr 828 WIN 测量和评估软件在 MS Windows 下运行
· 可选使用测量轴扩展
· 技术数据
ULM 520 S-E | ULM 1000 S-E | |
设备尺寸 | 1080 x 380 x 480 | 1500 x 380 x 480 |
外测量的测量范围 [mm] | 0 至 520 | 0 至 1025 |
内测量的测量范围 [mm] | 0.5 至 365 | 0.5 至 870 |
直接测量范围 [mm] | 外测量:0 至 520 内测量:0.5 至 365 | 外测量:0 至 1025 内测量:0.5 至 870 |
测量不确定性 MPEE1 (L in mm) [µm] | 仅 ABBE 测量元素:MPE E1 ?(0.09+L/2000) 带基床测量系统:MPE E1 ?(0.6+L/1000) | 仅 ABBE 测量元素:MPE E1 ?(0.09+L/2000) 带基床测量系统:MPE E1 ?(0.6+L/1000) |
测量力 [N] | 0.2 ; 1.0 - 4.5 ; 11 | 0.2 ; 1.0 - 4.5 ; 11 |
可重复性 [µm] | Abbe 测量元素:?0.05 基床测量系统: ?0.2 | Abbe 测量元素:?0.05 基床测量系统: ?0.2 |
设备长度 [mm] | 1080 | 1500 |
质量 [kg] | 160 | 215 |