MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界的 ISO 21501 数据准确性和再现性，是业内最洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。
基本描述
便携式空气颗粒计数器|选择 MET ONE 3411 的优势所在
- 可让您的洁净室保持洁净
0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染 - 热插拔电池-确保仪器长时间连续运行
由于仪器使用的是热插拔电池，故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机 - 测试向导（Test Wizard）能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误 - 顺序采样系统
可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。 - 灵活的通讯方式——设置简单，数据传输方便
供选择的无线，以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统，或者客户已有监控软件，以便减少文书工作 - 直观的用户界面
简便的区域，位置和运行参数的配置和复制，节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中，从而消除参数设置错误，并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划！ - 符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
专用于满足特殊颗粒计数要求，仪器与仪器之间的准确度和再现性*符合 ISO21501-4标准要求。
产品参数
| 通道个数 | 6 |
| 粒径 | 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ |
| 光源 | 氦氖激光器 |
| 重量 | 不含电池：15.9 公斤，电池：0.66 公斤 |
| 尺寸 | 33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (宽 x 长 x 高) |
| 机箱材质 | 便于清洗的钝化不锈钢 |
| 流速 | 1.0 CFM (28.3 LPM) |
| 零计数 | ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间 |
| 符合损失 | 在 50,000 /ft3 时，为5%，符合ISO 21501-4标准 |
| 泵的类型 | 可供连续使用的的多瓣闭路循环控制泵 |
| 计数效率 | 在0.1 µm时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B 9921，粒径大于0.15µm时为 99% |
| 运行温度 | 10 至 40°C; 相对湿度为10 至 90%，无冷凝 |
| 显示 | ¼ VGA 彩色 TFT 触摸屏 |
| 打印机 | 高速热敏打印机 |
| 语言 | 英语，法语，德语，意大利语，西班牙语，韩语*，日语*，中文 |
| 可以显示的数值 | 9,999,999 displayed |
| 延迟时间 | 15秒钟至23小时59分59秒 |
| 采样/停留时间 | 1秒钟至23小时59分59秒 |
| 计数警报 | 1~ 9,999,999 个计数值 |
| 位置 | 编号：0 至 999; 名称:文字描述，显示在打印输出资料上 |
| 数据存储 | 5,000 个样品， 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow) |
| 输出 | USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432 型顺序采样系统 (警报和扫描探头) |
| 锂电池，可充电、可热插拔 | Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX |
| 输入 | 空气速度探头，相对湿度/温度探头 |
| 自动 CDA 清洗 | 连接到CDA之后，清洗电磁阀会被激活 |
| 电源 | 24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器 |
| 电池类型 | 智能锂电池，可充电，可热插拔 |
| 电池使用时间 | 最短 3 小时 |
| 电池的充电时间 | 电池的充电时间 |
| 包含电池数量 | 2组 |
应用领域
专应用于半导体行业的空气颗粒计数：
- 洁净室验证监测
- 洁净室的分级
- ISO14644洁净室验证
- 洁净室颗粒物监测
- 生产过程的连续监测
- 颗粒污染源的排除过程
- HEPA过滤器检漏，粒径大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
- 过滤器扫描
- 高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体，流量会自动调整
空气颗粒计数器生命科学标准及委员会：
- 国际标准化组织 (ISO)
- ISO14644洁净室及相关受控环境
- ISO 21501颗粒分布测确定--用于无尘空间的光散射颗粒计数器
- 环境科学与技术研究所 (IEST)
