美国Entegris气体过滤器WGMXMSRR2
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随着各项技术水平的发展，通过采用新型的传感器和计算机技术研制出机械、电子、传感器及计算机自我管理（故障诊断、故障排除）为一体的智能化新型伺服阀。该类伺服阀可按照系统的需要来确定控制目标：速度、位置、加速度、力或压力。并且伺服阀的控制参数，如流量增益、流量增益特性、零点等都可以根据控制性能*化原则进行设置。在主机调试期间，可以通过总线端口下载或直接由上位机设置伺服阀的控制参数，使伺服阀与控制系统达到*匹配，优化控制性能。而伺服阀控制参数的下载和更新，甚至在主机运转时也能进行。而在伺服阀与控制系统相匹配的技术应用发展中，嵌入式技术对于伺服阀已经成为现实。按照嵌入式系统应定义为：“嵌入到对像体系中的计算机系统"。“嵌入性"、“性"与“计算机系统"是嵌入式系统的三个基本要素。它是在传统的伺服阀中嵌入的微处理芯片和相应的控制系统，针对客户的具体应用要求而构建成具有*控制参数的伺服阀并由阀自身的控制系统完成相应的控制任务（如各控制轴同步控制），再嵌入到整个的大液压控制系统中去。从目前的技术发展和液压控制系统对伺服阀的要求看，伺服阀的自诊断和自检测功能应该有更大的发展。
随着各项技术水平的发展，通过采用新型的传感器和计算机技术研制出机械、电子、传感器及计算机自我管理（故障诊断、故障排除）为一体的智能化新型伺服阀。该类伺服阀可按照系统的需要来确定控制目标：速度、位置、加速度、力或压力。并且伺服阀的控制参数，如流量增益、流量增益特性、零点等都可以根据控制性能*化原则进行设置。在主机调试期间，可以通过总线端口下载或直接由上位机设置伺服阀的控制参数，使伺服阀与控制系统达到*匹配，优化控制性能。而伺服阀控制参数的下载和更新，甚至在主机运转时也能进行。而在伺服阀与控制系统相匹配的技术应用发展中，嵌入式技术对于伺服阀已经成为现实。按照嵌入式系统应定义为：“嵌入到对像体系中的计算机系统"。“嵌入性"、“性"与“计算机系统"是嵌入式系统的三个基本要素。它是在传统的伺服阀中嵌入的微处理芯片和相应的控制系统，针对客户的具体应用要求而构建成具有*控制参数的伺服阀并由阀自身的控制系统完成相应的控制任务（如各控制轴同步控制），再嵌入到整个的大液压控制系统中去。从目前的技术发展和液压控制系统对伺服阀的要求看，伺服阀的自诊断和自检测功能应该有更大的发展。
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