DHFC1多功能薄膜性能测试仪由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪两部分组成。DHFC1多功能薄膜性能测试仪具有测量精度高，灵敏度高，稳定性好，测量范围宽，结构紧凑，使用方便等特点。DHFC1多功能薄膜性能测试仪适用于半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。
四探针测试仪由主机，测试架等部分组成。可以测量片状，块状，块状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻），功能材料暗电导和光电导及温度的变化的特性，还可以对金属导体的低，中值电阻进行测量。测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确，游移率小，寿命长。
非晶硅薄膜电导率测量仪由样品室，温控系统，真空系统，高阻测量系统等部分组成。
1. 测量范围：电阻测量范围：1×106 ～ 1×1017Ω；
电阻率：0.001～200Ω cm;
电导率：0.005～1000s/cm;
2. 可测晶片直径：200mm×200mm;
3. 探针：碳化钨或高速钢；探针间距：1± 0.01mm;
4. 针间绝缘电阻： ≥ 1000 MΩ； 机械游移率：≤0.3%；
5. 本底真空度： ≤10Pa,气压可控范围：10～400Pa;
衬底加热温度：室温度～200℃
四探针测试仪 薄膜电导率测试仪
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